首先在單(dān)晶爐作業前，要做(zuo)好準備工作，然後(hòu)開始進行熱态檢(jiǎn)漏，檢漏的要求在(zai)3分鍾以上，同時要(yào)做好記錄。接下來(lai)将單晶和籽晶取(qu)出，冷卻後要對單(dān)晶進行參數檢測(cè)，同樣需要做好記(ji)錄。接着将石墨件(jiàn)取出做好冷卻工(gōng)作，之後要對進行(hang)重量檢測并做記(jì)錄。然後在通過真(zhēn)空過濾器來進行(háng)清洗，真空泵油的(de)檢查更換。完成以(yǐ)上步驟，就要開始(shǐ)對石墨，單晶爐的(de)室内進行清洗了(le)，知道确認沒有污(wu)物爲止。接下來就(jiù)是對石墨的，石英(ying)坩埚，籽晶進行安(ān)裝，然後進行抽空(kong)繼續檢漏。最後引(yin)晶，縮頸，放肩，轉肩(jian)，然後等徑生長。最(zuì)後單晶爐 就進入(ru)收尾工作了。