單晶(jing)爐在運作過(guò)程中因爲一(yi)直都會處于(yú)高溫的狀态(tài)下，對其他的(de)零部件要求(qiú)高且嚴格，因(yīn)爲需要維持(chí)長時間的工(gong)作，所以需要(yao)特别注意定(dìng)期進行必要(yào)的維護保養(yǎng)。

1、坩埚驅動裝(zhuāng)置要求的運(yun)動精度比較(jiao)高，是設備的(de)核心運動部(bù)件，應重點維(wéi)護。坩埚軸是(shi)石墨坩埚的(de)支撐軸，應随(suí)時檢查其冷(leng)卻水的情況(kuàng)，以免燒損。

坩(gan)埚驅動采用(yòng)滾珠絲杠和(he)直線導軌結(jie)構，是坩埚驅(qū)動的關鍵部(bù)件，需保持清(qīng)潔，嚴禁灰塵(chén)、雜物附着，并(bìng)定期塗抹潤(rùn)滑脂。

2、籽晶旋(xuán)轉及提升機(ji)構的維修

籽(zǐ)晶旋轉及提(ti)升機構也是(shì)單晶爐的關(guān)鍵部件，該部(bù)件運行的好(hǎo)壞直接影響(xiang)單晶的生長(zhang)。因此，也須重(zhong)點維護。

卷輪(lún)箱是籽晶提(tí)升的核心，卷(juàn)輪箱内的零(líng)件一般情況(kuang)下不得随意(yì)拆除，必須拆(chai)除時，重新安(ān)裝時必須保(bao)證軟軸對中(zhong)。軟軸鋼絲繩(sheng)在使用中不(bú)準有死彎現(xian)象，并在每次(cì)開爐時檢查(chá)鋼絲繩是否(fou)燒損，如有燒(shāo)損應及時修(xiū)整或更換新(xin)的鋼絲繩。

除(chú)了上面的兩(liang)點之外，在每(měi)次開爐前應(yīng)檢查水路系(xì)統是否暢通(tōng)，水溫檢測傳(chuán)感器安裝是(shi)否正常。發現(xian)有結垢時應(ying)及時清理。在(zai)拉晶過程中(zhōng)，若發現水壓(yā)報警或漏水(shui)時要及時采(cǎi)取措施。真空(kong)管道的過濾(lü)網每爐要清(qīng)理一次，抽氣(qi)管道每20～30爐清(qīng)理一次。

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